| 功能模块 | 品牌 | 器件类型 | 具体应用 |
|---|---|---|---|
| RF发生器供电 | AIPULNION · YHWD · TAIYO YUDEN | 高压DC-DC模块 | 高压电容 · 射频功率管 |
| 匹配网络 | TAIYO YUDEN · TDG · Sunlord | 真空可变电容 | 高Q电感 · 射频继电器 |
| 射频采样/检测 | LegendSemi · NOVOSENSE | RF VI传感器 | 定向耦合器 · 精密ADC |
| 气体流量控制(MFC) | UTC · LegendSemi · NOVOSENSE | MFC模拟前端 | 精密运放 · 隔离485 |
| 等离子体监控 | LegendSemi · UTC | OES光谱仪前放 | 高速ADC · 光电AFE |
| 控制系统供电 | JoulWatt · UMW · Puya | 多路POL | 低噪声LDO · NOR Flash固件 |
| 功能模块 | 品牌 | 器件类型 | 具体应用 |
|---|---|---|---|
| 真空机械手BLDC | EGMICRO · · YHWD | FOC驱动IC | 绝对磁编码器 · 真空MOSFET |
| 晶圆台步进/伺服 | EGMICRO · · LegendSemi | 伺服驱动IC | 光栅尺接口 · 编码器 |
| 真空馈通连接器 | JONHON | 真空级Sub-D | 真空同轴 · 高压馈通 |
| 真空阀驱动 | YHWD · NOVOSENSE | 栅极驱动IC | 隔离供电 · 位置传感器 |
| 晶圆定位传感 | LegendSemi · UTC · UMW | 激光位移传感AFE | 精密ADC · 光电开关 |
| 运动控制卡 | Motorcomm · NOVOSENSE · Puya | EtherCAT PHY | 隔离CAN · NOR Flash |
| 功能模块 | 品牌 | 器件类型 | 具体应用 |
|---|---|---|---|
| 真空计信号链 | LegendSemi · UTC | 皮拉尼/电容真空计AFE | 24位ADC · 4-20mA |
| 温度传感 | NOVOSENSE · LegendSemi | RTD/热电偶AFE | 多通道采集 · 隔离运放 |
| 气体分析(RGA) | AIPULNION · UTC · YHWD | 质谱仪前置放大 | 高压DC-DC · 倍增器供电 |
| 颗粒检测 | AIPULNION · UMW · LegendSemi | 激光驱动 | 光电管供电 · 脉冲计数 |
| 环境监控主板 | Puya · NOVOSENSE · UTC | MCU | NOR Flash · EEPROM · 隔离485 |
| 仪表连接器 | JONHON · CJT | 真空仪表接头 | 同轴BNC · 多芯屏蔽 |
| 功能模块 | 品牌 | 器件类型 | 具体应用 |
|---|---|---|---|
| 安全继电器回路 | NOVOSENSE | 强制导向继电器 | 安全继电器模组 · 互锁 |
| 急停与门锁 | AIPULNION · TAIYO YUDEN | 安全门开关 | 急停按钮 · 限位传感器 |
| 主配电系统 | NOVOSENSE · Motorcomm | AC-DC电源模块 | 母线电容 · 接触器 |
| 隔离IO模块 | Southchip · UMW · BELLING | 隔离数字输入 | 隔离DO输出 · EtherCAT |
| UPS / 掉电保护 | YHWD | 超级电容管理IC | 充电IC · 切换电路 |
| 过压过流保护 | YHWD | TVS阵列 | ESD · 保险管 · 断路器 |
| 客户现用（国际大厂） | 常见痛点 | 咏川替代方案 | 优势与保障 |
|---|---|---|---|
| 海外 RF 电源配套 | 禁运风险 | 国产 RF 链替代方案 | 已在验证，样机支持 |
| 海外真空馈通 | MOQ 巨大 | CJT 真空级连接器 | 国产替代 |
| 海外真空级功率件 | 渠道单一 | YHWD 高可靠功率器件 | 规格可定制 |
| 海外真空计传感链 | 交期 20 周+ | NOVOSENSE 压力+LegendSemi ADC | 替代验证中 |