Semiconductor Equipment

半导体设备解决方案

覆盖刻蚀/薄膜沉积/离子注入/检测量测等半导体前道核心设备，提供从RF匹配电源到晶圆传送驱动的完整元器件方案，助力国产设备突破零部件瓶颈。

18
代理品牌
4
子系统
80%
BOM覆盖率
国产替代
核心窗口
01

RF匹配电源与等离子体控制

刻蚀 / PECVD / PVD 射频功率系统
RF发生器供电
高压DC-DC模块 · 高压电容 · 射频功率管
AIPULNION · YHWD · TAIYO YUDEN
匹配网络
真空可变电容 · 高Q电感 · 射频继电器
TAIYO YUDEN · Hongfa · TDG · Sunlord
射频采样/检测
RF VI传感器 · 定向耦合器 · 精密ADC
LegendSemi · NOVOSENSE
气体流量控制(MFC)
MFC模拟前端 · 精密运放 · 隔离485
SGMicro · UTC · LegendSemi · NOVOSENSE
等离子体监控
OES光谱仪前放 · 高速ADC · 光电AFE
LegendSemi · UTC
控制系统供电
多路POL · 低噪声LDO · NOR Flash固件
JoulWatt · UMW · Puya
02

晶圆传送与运动控制

EFEM / 真空机械手 / 晶圆台 / Load Lock
真空机械手BLDC
FOC驱动IC · 绝对磁编码器 · 真空MOSFET
EGMICRO · MagnTek · YHWD
晶圆台步进/伺服
伺服驱动IC · 光栅尺接口 · 编码器
EGMICRO · MagnTek · LegendSemi
真空馈通连接器
真空级Sub-D · 真空同轴 · 高压馈通
JONHON
真空阀驱动
栅极驱动IC · 隔离供电 · 位置传感器
YHWD · NOVOSENSE · MagnTek
晶圆定位传感
激光位移传感AFE · 精密ADC · 光电开关
LegendSemi · UTC · UMW
运动控制卡
EtherCAT PHY · 隔离CAN · NOR Flash
Motorcomm · NOVOSENSE · Puya
03

真空传感与环境监控

真空计 / 压力传感 / 温度监控 / 颗粒检测
真空计信号链
皮拉尼/电容真空计AFE · 24位ADC · 4-20mA
LegendSemi · SGMicro · UTC
温度传感
RTD/热电偶AFE · 多通道采集 · 隔离运放
NOVOSENSE · LegendSemi
气体分析(RGA)
质谱仪前置放大 · 高压DC-DC · 倍增器供电
AIPULNION · UTC · YHWD
颗粒检测
激光驱动 · 光电管供电 · 脉冲计数
AIPULNION · UMW · LegendSemi
环境监控主板
MCU · NOR Flash · EEPROM · 隔离485
Puya · NOVOSENSE · UTC
仪表连接器
真空仪表接头 · 同轴BNC · 多芯屏蔽
JONHON · CJT
04

安全互锁与系统配电

设备安全回路 · 急停 · 互锁联锁 · 集中配电
安全继电器回路
强制导向继电器 · 安全继电器模组 · 互锁
Hongfa
急停与门锁
安全门开关 · 急停按钮 · 限位传感器
Hongfa · NOVOSENSE · MagnTek
主配电系统
AC-DC电源模块 · 母线电容 · 接触器
AIPULNION · TAIYO YUDEN · Hongfa
隔离IO模块
隔离数字输入 · 隔离DO输出 · EtherCAT
NOVOSENSE · Motorcomm
UPS / 掉电保护
超级电容管理IC · 充电IC · 切换电路
Southchip · UMW · BELLING
过压过流保护
TVS阵列 · ESD · 保险管 · 断路器
WAYON · YHWD
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