| 元器件类别 | 状态 | 咏川方案 | 主推型号 / 系列 | 关键作用 / 规格要点 |
|---|---|---|---|---|
| 运动控制主控 MCU | 咏川供应 | ZLG 致远 | Cortex-M 工控 MCU（GD32 套件） | 轨迹插补/伺服指令仲裁；晶圆台纳米级定位的外环控制 |
| 运动控制固件存储 | 咏川供应 | Puya | P25Qxx（SPI NOR） | 运动算法参数与校准表存储，上电秒启 |
| 编码器/光栅尺差分接口 | 咏川供应 | 川土微 / 3PEAK | CA-IS / TP 差分收发系列 | 增量式光栅尺/编码器 RS422 长线接收，抗共模干扰 |
| 伺服指令 DAC/模拟输出 | 咏川供应 | LegendSemi 领慧立芯 | LHD5422 / LHD5755-1 | ±10V 速度/力矩指令输出，单调低噪声 |
| EtherCAT 从站 PHY | 咏川供应 | 裕太微 | YTxxxx（百兆 PHY 系列） | 运动控制卡 EtherCAT 100M 物理层 |
| 驱动板间隔离 CAN/SPI | 咏川供应 | NOVOSENSE / 川土微 | NSi 系列 / CA-IS3xxx | 控制板-伺服驱动隔离通信，抗电机噪声 |
| 运动控制卡参考时钟 | 咏川供应 | 泰晶 TKD | TCXO / 晶振（系列） | 伺服同步时钟源，低抖动 |
| 光栅尺/激光干涉仪本体 | 咏川暂无 | 常规参考 | 纳米级位置测量传感头；常规：雷尼绍光栅/激光尺、海德汉封闭光栅；咏川暂无传感头，配套其接口电气层 |
| 元器件类别 | 状态 | 咏川方案 | 主推型号 / 系列 | 关键作用 / 规格要点 |
|---|---|---|---|---|
| 机械臂 BLDC/FOC 驱动 | 咏川供应 | EGMICRO 屹晶微 | EG6831（集成预驱） | 真空机械臂多轴 BLDC 伺服；力矩平滑、低速无爬行 |
| 栅极驱动扩展 | 咏川供应 | EGMICRO 屹晶微 | EG2104 / EG2131 半桥 | 大功率轴电机驱动扩展，死区可编程 |
| 真空兼容功率 MOSFET | 咏川供应 | YHWD / 快捷芯 | 低压 MOS（KJ 系列） | 低 Rdson 功率级，洁净室低发尘封装选型 |
| 关节角度反馈 | 咏川供应 | NOVOSENSE | 磁角度/编码器（系列） | 关节绝对角度反馈，真空环境下可靠 |
| 真空阀/门阀驱动 | 咏川供应 | 群芯微 / YHWD | QX3120 栅驱光耦 + 功率 MOS | 气动/电动真空阀隔离驱动与互锁 |
| 隔离供电模块 | 咏川供应 | AIPULNION 爱浦 | A_S-1W/2W 定压隔离系列 | 关节编码器/阀侧浮地供电 |
| 机械手控制板互联 | 咏川供应 | CJT / 星坤 XKB | 板对板 / 线对板系列 | 关节与主控板信号/电源互联，真空馈通前级 |
| 真空机器人本体减速机 | 咏川暂无 | 常规参考 | 高精度谐波/RV 减速单元；常规：哈默纳科谐波减速机；咏川暂无机械本体，控制与驱动链可成套 |
| 元器件类别 | 状态 | 咏川方案 | 主推型号 / 系列 | 关键作用 / 规格要点 |
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| 高精度 24bit ADC | 咏川供应 | LegendSemi 领慧立芯 | LHA7878（8ch 24bit） | 真空计/压力传感器毫伏级信号高分辨采集，0.5%FS 级系统精度 |
| 零漂移仪表放大 | 咏川供应 | LegendSemi 领慧立芯 | LHAMP188 / LHAMP1528 | 桥式传感器前置放大，低失调低温漂 |
| 辅助压力/温度传感 | 咏川供应 | NOVOSENSE | 压力传感器 / 温湿度传感（系列） | 腔体/管路辅助压力与环境温度监测 |
| RTD/热电偶多通道采集 | 咏川供应 | LegendSemi / UTC | LHA7878 + 运放调理 | 加热器/工艺腔体多点多通道温度采集 |
| 精密基准电压源 | 咏川供应 | LegendSemi 领慧立芯 | LHR30XX / LHR40XX | ADC/传感器桥供电基准，3ppm/℃ |
| 4-20mA/RS485 隔离输出 | 咏川供应 | 川土微 / 群芯微 | CA-IS 隔离 485 / 光耦 | 真空计/变送器隔离远传，抗现场地环路 |
| 校准参数 EEPROM | 咏川供应 | BELLING / Puya | BL24Cxx / P24Cxx | 零点/斜率标定数据存储 |
| 真空计裸管（规管） | 咏川暂无 | 常规参考 | 皮拉尼/电容薄膜/冷阴极真空传感头；常规：Inficon / MKS / 爱德华 规管；咏川暂无真空传感头，围绕其后级信号链供货 |
| 元器件类别 | 状态 | 咏川方案 | 主推型号 / 系列 | 关键作用 / 规格要点 |
|---|---|---|---|---|
| 流量/压差同步采样 ADC | 咏川供应 | LegendSemi 领慧立芯 | LHA6958 / LHA6916 | MFC 传感桥路流量/压差同步采集，16bit 8/16ch |
| 高精度 24bit ADC（流量标定） | 咏川供应 | LegendSemi 领慧立芯 | LHA7878 | 全量程标定用高分辨采样，匹配 1% 级 MFC 精度 |
| 阀控指令 DAC | 咏川供应 | LegendSemi 领慧立芯 | LHD5755-1 / LHD5422 | 比例阀驱动指令输出，单调低噪声 |
| 信号调理运放 | 咏川供应 | 3PEAK / UTC | TPxxxx / LM358 系列 | 传感桥/温度补偿调理 |
| 控制板隔离电源 | 咏川供应 | AIPULNION 爱浦 | A_S-1W/2W 定压隔离系列 | MFC 阀驱动与控制隔离供电 |
| 隔离 RS485（DeviceNet 侧） | 咏川供应 | 川土微 / NOVOSENSE | CA-IS 隔离 485 / NSi 系列 | MFC 上位机通信隔离，2.5kVrms |
| PID 控制参考时钟 | 咏川供应 | 泰晶 TKD | 晶振 / TCXO（系列） | 流量控制环时基与同步 |
| MFC 层流传感核心 | 咏川暂无 | 常规参考 | 层流压差式流量传感元件；常规：MKS/Horiba 整机及核心传感结构；咏川暂无传感芯体，ADC/阀控/隔离链可国产化 |
| 元器件类别 | 状态 | 咏川方案 | 主推型号 / 系列 | 关键作用 / 规格要点 |
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| RF 电源控制板辅助 DC-DC | 咏川供应 | AIPULNION 爱浦 | 宽压隔离模块（1~3W） | RF 发生器控制/栅偏供电，隔离稳压 |
| RF 检波后高速采样 ADC | 咏川供应 | LegendSemi 领慧立芯 | LHA6961（16bit 5MSPS） | V/I 传感检波信号数字化，功率/反射功率闭环 |
| 18bit 精密采样（可选） | 咏川供应 | LegendSemi 领慧立芯 | LHA8951（18bit 1MSPS） | 匹配网络寻优用高分辨电压电流采样 |
| 采样/控制通道隔离 | 咏川供应 | NOVOSENSE / 川土微 | NSi1xxx / CA-IS3xxx | 高压功率级与控制数字隔离，抗 RF 地弹 |
| 匹配电机步进驱动 | 咏川供应 | EGMICRO 屹晶微 | EG2104 + 低压 MOS | 真空可调电容/电感步进电机驱动，寻优动作 |
| 驱动信号隔离光耦 | 咏川供应 | 群芯微 | QX6N137 / QX074L 高速光耦 | PWM/使能信号高压侧隔离传输 |
| RF 功率器件与真空可调电容 | 咏川暂无 | 常规参考 | 13.56MHz 功率放大与匹配可调单元；常规：NXP/Ampleon LDMOS、Wolfspeed GaN、Comet 真空电容；咏川暂无 RF 功率件，控制/采样链可配套 |
| 元器件类别 | 状态 | 咏川方案 | 主推型号 / 系列 | 关键作用 / 规格要点 |
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| 多通道温度同步采集 | 咏川供应 | LegendSemi 领慧立芯 | LHA7879-4 / LHE7904 | 静电卡盘/加热器多区温度同步采集，通道一致性高 |
| 加热器功率驱动 | 咏川供应 | 快捷芯 / YHWD | 低压 MOS（KJ 系列） | 多区加热 PID 功率输出，PWM 调功 |
| 加热回路无触点隔离 | 咏川供应 | 群芯微 | QXY258 / QXS258 光继电器 | 加热回路固态隔离通断，无机械触点 |
| 系统主配电 AC-DC | 咏川供应 | AIPULNION 爱浦 | AC-DC 模块（2~300W 系列） | 设备主控/IO 供电，多路隔离输出 |
| 急停/门锁安全回路电源 | 咏川供应 | UMW / BELLING | 78XX / BL8028 系列 | 安全回路独立供电，与主控电源分离 |
| 隔离 IO（EtherCAT 侧） | 咏川供应 | NOVOSENSE / 群芯微 | NSi1xxx / 光耦 | 安全输入/输出隔离采集，双通道设计 |
| 掉电保护/超级电容充电 | 咏川供应 | UTC / BELLING | 充电管理 IC（系列） | 超级电容后备电源充放电管理，工艺中断保护 |
| 安全继电器（强制导向） | 咏川暂无 | 常规参考 | SIL3 安全回路强制导向继电器；常规：皮尔磁/欧姆龙 G7SA 安全继电器；咏川暂无强制导向品种，群芯微光继电器无此安全等级 |
| 客户关注 | 常见痛点 | 咏川方案 | 优势与保障 |
|---|---|---|---|
| 真空计/MFC 信号链 | 海外传感链交期 20 周+ | LegendSemi ADC + NOVOSENSE 传感调理 | 替代验证中，样机支持 |
| 设备控制系统供电 | 军品级电源价格高 | AIPULNION 模块 + UMW/BELLING POL | 多路隔离输出，量产供货 |
| 运动/传送驱动 | 伺服驱动器件配额紧 | EGMICRO 预驱 + YHWD 功率器件 | 0.4~7.5kW 段全覆盖 |
| 隔离 IO 与安全链 | 海外隔离器件渠道封闭 | NOVOSENSE/群芯微/川土微 | 国产隔离矩阵最全 |